我们的光刻机突破了，这回是真的，这两天看了好几个知识博主科普的咱们中国式的光刻机，大受震撼，你说之前怎么就没想到呢？
我国光刻机与荷兰阿斯麦光刻机有啥区别？
简单说就是咱们不搞阿斯迈那个光刻机一台一台的，而是搞一个大装置，相当于光刻流水线，光刻工厂，基本原理都是一样的。阿斯麦是把光刻机的所有零件攒在一个大白柜子里，这边进原料，那边出芯片。咱们不需要像他那样高度集成，就不用把所有设备零件挤在一起，一方面我们的技术做不到，另一方面还能绕过很多专利陷阱，突破他们的技术壁垒。说起来啊，也不是最近的成果，去年相关的论文就发表了，那有想法就更早了。简单说就是把光刻机巨大化。以前搞不定EUV光源，就是极子外光刻的光源，光刻机的光。光源小型化是一个重大门槛，想法都是怎么给它集成在一台机器里，现在不用了，造什么机器啊，造个车间直接上大型激光加速器，管它是环形的还是直线的，反正地方有的是，只要够大，就能产生足够功率甚至更强的光源。这就是打印机和印刷厂的区别，真正颠覆式的创新。
为什么荷兰阿斯麦要把光刻机小型化？
荷兰阿斯麦的光科技是当商品卖出，售给全世界，那它就必须小型化，光源也必须小型化，设备要紧凑，运输要方便。现在想来啊，之前有点陷入误区了，咱们要的是芯片，从无到有，至于是盒子造出来的，还是工厂造出来的，那无所谓。
我们打破思维定势-另辟蹊径
暂时突破不了小型化，也没有外销的需求，那就按工厂的方式搞，谁说非得长得像他们那样？这就是科研思维和工程思维的区别。而恰恰这几十年咱们高速发展，练的最好的就是搞工程，工业发展集成化、小型化，这些年都有点惯性思维了，结果国家有高人来个逆向思维。做不成集成化、小型化，那就正常做，再不行就往大了做，零件挤不下就平铺，他搞一个大柜子，咱就拉成一条流水线，好比数控机床，没有的时候，那零件怎么闹的，车床、铣床、爆床、磨床，一套下来一样能达标，它一个数控机床，咱一个车间也能干下来。咱们现在的光刻机或者叫光刻流水线，就需要一个超级大号的车间，那地方不是要多少有多少嘛，造不出热水器，咱就造个锅炉房。整不出跑步机，咱就盖个体育场。哎！别看广告，咱看疗效，力大砖飞暴力美学，典型的苏式作风，米格25就是这么弄出来的，但也不是一句傻大黑粗、简单粗暴就能干出来。实际上，这恰恰体现了非常了不起的理论功底、创造力和设计能力，因为有了这么多年制造能力的积累，才能在短时间内完成从想法到现实的落地。一个行业固若金汤的壁垒，在另一个行业看来可能只是一层窗户纸，跟新能源汽车一样，这是真正的弯道超车。
我国光刻厂的一点细节
前面都是大面的解说，现在聊两毛钱理论的。美国的极限制裁极大的加速了国内EUV光刻机的研发速度，原本这种异想天开的方案只能停留在PPT上和实验室里，现在国家的饱和式研发却让他迅速落地。这种方案简单的说，目前我的精度控制也达到了，就是没本事在五米内控制光源在1纳米移动，我可以让光绕圈跑五千米啊，我光源控制在1纳米范围内移动没问题，跑五千米后我慢慢调整，华为你要1纳米，那边小米要14纳米的，那边要28纳米的都没问题，我五千米跑下来，啥范围内的都有，你们自己站在对应接口接光源就好。这就不是造光刻机的思路，这就是母猪喂奶的路线。是的，弄不出来稳定的4纳米光源，我一次弄1000个光源，跑个五千米后，我总能挑出来一个4纳米的。
总之，就是大力出奇迹，原理很简单，小汽车大小的原子弹固然厉害，我大货车大小的原子弹也一样好用，没毛病，关键是我手里也有。 |
