综合各方消息,中国的euv将会弯道超车,复刻新能源汽车的成功,上的直接就是3nm 目标。
不是走 7nm 5nm 4nm 再到三的路线,而是一步到3nm
另外光源是直接使用同步辐射光源,不需要太多复杂的镜片,总体成本会比ASML的euv光刻机更便宜,更容易维护。
附:一个同步辐射光源SRL+自由电子激光FEL构建EUV光源的可能实现
2019年12月的Ryukou Kato的《Demonstration of high-repetition FEL using cERL and beyond EUV-FEL》
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